부산대학교가 전력반도체 앵커기업(거점기업)인 ㈜아이큐랩과 SiC 전력소자 공정 최적화를 위한 물성분석 기술 2건을 기술이전해 지역 반도체 산업의 산학협력과 전문인력 양성 기반을 강화한다.

부산대학교(총장 최재원) 산학협력단은 29일 오전 부산시 기장군 ㈜아이큐랩 본사에서 기술이전 체결 협약식을 개최했다고 30일 밝혔다.

이날 행사에는 부산대 강정은 산학협력단장, 나노반도체공정·장비계약학과 이해준 사업단장, 서지연 부단장과 ㈜아이큐랩 김권제 대표와 제조본부 정호형 상무가 참석했다.

이번 기술이전은 부산대 라이즈(RISE)사업단(미래 선도 극한환경 전력반도체 Open UIC) 산학공동기술개발과제의 일환으로 수행됐다. 유기소재시스템공학과 김효정 교수와 첨단융합학부 서지연 교수가 참여해, SiC(탄화규소) 전력소자 공정 최적화를 위한 물성분석의 기술(노하우) 2건을 개발한 성과다.

SiC 전력소자 공정 최적화를 위한 물성분석은 SiC(탄화규소) 전력반도체 제조 과정에서 공정 조건을 바꿔가며 소자 표면/계면/박막 상태를 분석(측정)해 성능·수율을 가장 좋게 만드는 공정을 도출하는 물성 분석 기술을 말한다.

㈜아이큐랩 김권제 대표는 “우리 기업은 기장군 소재 본사 및 양산 공장 외에도 부산대 인근에 지사를 운영하고 있다”며 “이를 기반으로 부산대의 우수한 연구진과의 협업을 강화하고, 구축된 첨단 물성분석 인프라를 활용한 연구개발 및 전문인력 양성에 최선을 다하겠다”는 의지를 전했다.

부산대 강정은 산학협력단장(도시공학과 교수)은 “이번 기술이전은 지역의 대표적인 반도체 기업과의 협력으로, 향후 첨단산업 분야에서 활발한 산학협력이 이루어지는 데 거는 기대가 크다”고 말했다.

부산대 이해준 사업단장(전기전자공학부 교수)은 “제조업 중에서도 ㈜아이큐랩과 같이 특히 부가가치가 높은 기업에 대해서는 국가적인 관심과 지자체의 지원이 필요하며, 대학과의 지속적인 연구협력을 통해 장기적인 발전을 모색할 수 있다”고 내다봤다.

이번 기술 개발은 부산대 나노반도체공정·장비계약학과 창의융합센터에 구축된 대면적 IR-AFM 자동화 시스템과 부산대가 보유한 인적·물적 물성분석 인프라를 적극 활용한 대표적인 사례로, 산학공동기술개발과제를 통해 부산시 우수기업의 성장동력 확보와 정주형 전문인력 양성을 위한 기반을 마련하는 데 기여하고 있다.

김형일 부산닷컴 기자 ksolo@busan.com